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Lam Research, Entegris et Gelest s’associent pour faire progresser l’écosystème de la technologie EUV Dry Resist

Publié le 12 juillet 2022 par Mycamer

La collaboration fournit une chaîne d’approvisionnement chimique robuste pour les fabricants de puces mondiaux utilisant la technologie révolutionnaire et soutient la R&D pour les applications EUV de nouvelle génération

SAN FRANCISCO, 12 juillet 2022 /PRNewswire/ — SEMICON OUEST 2022 — Lam Research Corp. (NASDAQ : LRCX), Entegris, Inc. (NASDAQ : ENTG), et Gelest, Inc, une société du groupe Mitsubishi Chemical, ont annoncé aujourd’hui une collaboration stratégique qui fournira aux fabricants de semi-conducteurs du monde entier un accès fiable aux précurseurs chimiques pour La technologie révolutionnaire de résine photosensible sèche de Lam pour la lithographie aux ultraviolets extrêmes (EUV), une approche innovante utilisée dans la production de semi-conducteurs de nouvelle génération. Les parties travailleront ensemble sur la recherche et le développement (R&D) de la technologie de résistance sèche EUV pour les futures générations d’appareils de produits logiques et DRAM qui aideront à tout permettre, de l’apprentissage automatique et de l’intelligence artificielle aux appareils mobiles.

Une chaîne d’approvisionnement robuste pour les produits chimiques de procédé est essentielle à l’intégration de la technologie de résistance sèche EUV dans la fabrication à grand volume. Cette nouvelle collaboration à long terme élargit encore l’écosystème croissant de la technologie de résistance sèche et fournira un approvisionnement à double source auprès des leaders des matériaux semi-conducteurs avec des dispositions pour la continuité de la livraison sur tous les marchés mondiaux.

En outre, Lam, Entegris et Gelest travailleront ensemble pour accélérer le développement de futures solutions de résine sèche EUV rentables pour la structuration EUV à ouverture numérique élevée (NA élevée). L’EUV à haute NA est largement considérée comme la technologie de modélisation qui sera nécessaire pour la mise à l’échelle continue des dispositifs et l’avancement de la technologie des semi-conducteurs au cours des prochaines décennies. La réserve sèche fournit la résistance élevée à la gravure et la mise à l’échelle de l’épaisseur réglable du dépôt et du développement nécessaires pour prendre en charge les exigences de profondeur de champ réduites de l’EUV à haute NA.

« La technologie Dry Resist est une percée qui brise les plus grands obstacles à la mise à l’échelle des futurs nœuds DRAM et de la logique avec la lithographie EUV », a déclaré Rick Gottscho, vice-président exécutif et directeur de la technologie de Lam Research. “Cette collaboration réunit l’expertise de Lam en matière de résistance sèche et des solutions de pointe avec des capacités en science des matériaux et des canaux d’approvisionnement fiables de deux leaders de l’industrie chimique précurseur. Cette expansion importante de l’écosystème de la résistance sèche ouvre la voie à de nouveaux niveaux passionnants d’innovation et à un volume élevé fabrication avec la technologie.”

Première développé par Lam en collaboration avec ASML et IMEC, la réserve sèche augmente la résolution, la productivité et le rendement de la lithographie EUV, répondant ainsi aux principaux défis associés à la création de technologies DRAM et logiques de nouvelle génération. Il offre des performances dose-taille et dose-défaut supérieures, permettant une productivité accrue du scanner EUV et un coût de possession inférieur. De plus, le procédé de réserve sèche de Lam offre des avantages clés en matière de durabilité en consommant moins d’énergie et cinq à dix fois moins de matières premières que les procédés de réserve traditionnels.

« L’approche de résistance sèche de Lam reflète les innovations clés au niveau des matériaux et offre un large éventail d’avantages, notamment une meilleure résolution, une meilleure rentabilité et des avantages convaincants en matière de durabilité », a déclaré Bertrand Loy, directeur général d’Entegris. “Nous sommes fiers de faire partie de cette collaboration innovante pour accélérer l’adoption de la résine sèche et d’être un fournisseur de matériaux de processus de confiance pour les clients alors qu’ils poussent à créer la prochaine génération de semi-conducteurs avec cette technologie importante.”

« Notre collaboration avec Lam et Entegris pour faire progresser les résines sèches pour la lithographie EUV démontre notre engagement à soutenir les fabricants de puces alors qu’ils innovent dans la science des matériaux », a déclaré Jonathan Goff, président de Gelest, une société du groupe Mitsubishi Chemical. “Nous avons vu EUV démontrer une valeur exceptionnelle ces dernières années, et nous sommes ravis de faire partie de l’écosystème en pleine croissance pour étendre son potentiel.”

À propos de Lam Research

Lam Research Corporation est un fournisseur mondial d’équipements et de services de fabrication de plaquettes innovants pour l’industrie des semi-conducteurs. L’équipement et les services de Lam permettent aux clients de construire des appareils plus petits et plus performants. En fait, aujourd’hui, presque toutes les puces avancées sont construites avec la technologie Lam. Nous combinons une ingénierie système supérieure, un leadership technologique et une solide culture fondée sur des valeurs, avec un engagement inébranlable envers nos clients. Lam Research (Nasdaq : LRCX) est une société FORTUNE 500® dont le siège est à Fremont, Californie., avec des opérations dans le monde entier. En savoir plus sur www.lamresearch.com. (LRCX-T)

À propos d’Entegris

Entegris est le leader mondial des matériaux électroniques pour le marché des semi-conducteurs. Avec environ 8 800 employés dans ses opérations mondiales, Entegris propose l’offre de bout en bout la plus complète et la plus innovante du secteur pour les clients de semi-conducteurs, en plus de solutions pour les sciences de la vie et d’autres environnements de fabrication avancés. Les solutions d’Entegris aident les clients à améliorer leurs performances, leur productivité et leurs rendements pour activer des technologies qui transforment le monde. Elle possède des installations de fabrication, de service à la clientèle et/ou de recherche dans les États Unis, Canada, Chine, France, Allemagne, Israël, Japon, Malaisie, Singapour, Corée du Sudet Taïwan. Pour plus d’informations sur Entegris, rendez-nous visite sur www.entegris.comou suivez-nous sur LinkedIn, Twitter, Facebook et Instagram.

À propos de Gelest

Gelest est un innovateur, fabricant et fournisseur mondial basé aux États-Unis de silicones spécialisés, d’organosilanes, de composés organométalliques et de monomères d’acrylate qui dessert les marchés finaux des technologies de pointe, notamment les dispositifs médicaux, les sciences de la vie, les revêtements et les adhésifs, la microélectronique et les soins personnels. En tant que société du groupe Mitsubishi Chemical, Gelest peut tirer parti de l’expertise, du soutien à la recherche et au développement et des ressources de l’une des sociétés chimiques les plus importantes et les plus prospères au monde. Gelest aide à contribuer au succès de ses clients en développant une technologie chimique, des produits et des services de pointe pour relever les défis les plus complexes de la science des matériaux de la société.

Mise en garde concernant les déclarations prospectives
Les déclarations faites dans ce communiqué de presse qui ne sont pas des faits historiques sont des déclarations prospectives et sont soumises aux dispositions d’exonération créées par la loi Private Securities Litigation Reform Act de 1995. Ces déclarations prospectives concernent, mais ne sont pas limitées à : capacité de Lam, Entegris et Gelest à fournir des outils et des produits chimiques en quantité et qualité suffisantes et dans des délais suffisants pour répondre aux demandes des clients ; la durée, les objectifs ou les résultats obtenus par la collaboration des parties ; la performance des outils et processus de Lam et, plus précisément, la performance et les avantages obtenus grâce à l’utilisation de la technologie de réserve sèche de Lam ; l’effet de cette nouvelle technologie sur le coût et la productivité de la lithographie EUV ; la nécessité d’améliorer la productivité et la résolution de la lithographie EUV ; la quantité d’énergie ou de matière première économisée grâce à l’utilisation de la nouvelle technologie ; et les avantages des collaborations industrielles. Ces déclarations sont basées sur les attentes actuelles et sont soumises à des risques, des incertitudes et des changements d’état, d’importance, de valeur et d’effet, y compris les risques et les incertitudes qui sont décrits dans les documents déposés ou fournis par nous auprès de la Securities and Exchange Commission, y compris en particulier les facteurs de risque décrits dans le rapport annuel de Lam sur formulaire 10-K pour l’exercice clos 27 juin 2021et rapport trimestriel sur formulaire 10-Q pour le trimestre terminé 26 mars 2022 et dans le rapport annuel d’Entegris sur formulaire 10-K pour l’exercice clos 31 décembre 2022et rapport trimestriel sur formulaire 10-Q pour le trimestre terminé 2 avril 2022. Ces incertitudes et ces changements pourraient avoir une incidence importante sur les déclarations prospectives et faire en sorte que les résultats réels diffèrent sensiblement des attentes. Aucune des deux sociétés ne s’engage à mettre à jour les informations ou déclarations contenues dans ce communiqué.

SOURCE Société de recherche Lam

La collaboration fournit une chaîne d’approvisionnement chimique robuste pour les fabricants de puces mondiaux utilisant la technologie révolutionnaire et soutient la R&D pour les applications EUV de nouvelle génération

SAN FRANCISCO, 12 juillet 2022 /PRNewswire/ — SEMICON OUEST 2022 — Lam Research Corp. (NASDAQ : LRCX), Entegris, Inc. (NASDAQ : ENTG), et Gelest, Inc, une société du groupe Mitsubishi Chemical, ont annoncé aujourd’hui une collaboration stratégique qui fournira aux fabricants de semi-conducteurs du monde entier un accès fiable aux précurseurs chimiques pour La technologie révolutionnaire de résine photosensible sèche de Lam pour la lithographie aux ultraviolets extrêmes (EUV), une approche innovante utilisée dans la production de semi-conducteurs de nouvelle génération. Les parties travailleront ensemble sur la recherche et le développement (R&D) de la technologie de résistance sèche EUV pour les futures générations d’appareils de produits logiques et DRAM qui aideront à tout permettre, de l’apprentissage automatique et de l’intelligence artificielle aux appareils mobiles.

Une chaîne d’approvisionnement robuste pour les produits chimiques de procédé est essentielle à l’intégration de la technologie de résistance sèche EUV dans la fabrication à grand volume. Cette nouvelle collaboration à long terme élargit encore l’écosystème croissant de la technologie de résistance sèche et fournira un approvisionnement à double source auprès des leaders des matériaux semi-conducteurs avec des dispositions pour la continuité de la livraison sur tous les marchés mondiaux.

En outre, Lam, Entegris et Gelest travailleront ensemble pour accélérer le développement de futures solutions de résine sèche EUV rentables pour la structuration EUV à ouverture numérique élevée (NA élevée). L’EUV à haute NA est largement considérée comme la technologie de modélisation qui sera nécessaire pour la mise à l’échelle continue des dispositifs et l’avancement de la technologie des semi-conducteurs au cours des prochaines décennies. La réserve sèche fournit la résistance élevée à la gravure et la mise à l’échelle de l’épaisseur réglable du dépôt et du développement nécessaires pour prendre en charge les exigences de profondeur de champ réduites de l’EUV à haute NA.

« La technologie Dry Resist est une percée qui brise les plus grands obstacles à la mise à l’échelle des futurs nœuds DRAM et de la logique avec la lithographie EUV », a déclaré Rick Gottscho, vice-président exécutif et directeur de la technologie de Lam Research. “Cette collaboration réunit l’expertise de Lam en matière de résistance sèche et des solutions de pointe avec des capacités en science des matériaux et des canaux d’approvisionnement fiables de deux leaders de l’industrie chimique précurseur. Cette expansion importante de l’écosystème de la résistance sèche ouvre la voie à de nouveaux niveaux passionnants d’innovation et à un volume élevé fabrication avec la technologie.”

Première développé par Lam en collaboration avec ASML et IMEC, la réserve sèche augmente la résolution, la productivité et le rendement de la lithographie EUV, répondant ainsi aux principaux défis associés à la création de technologies DRAM et logiques de nouvelle génération. Il offre des performances dose-taille et dose-défaut supérieures, permettant une productivité accrue du scanner EUV et un coût de possession inférieur. De plus, le procédé de réserve sèche de Lam offre des avantages clés en matière de durabilité en consommant moins d’énergie et cinq à dix fois moins de matières premières que les procédés de réserve traditionnels.

« L’approche de résistance sèche de Lam reflète les innovations clés au niveau des matériaux et offre un large éventail d’avantages, notamment une meilleure résolution, une meilleure rentabilité et des avantages convaincants en matière de durabilité », a déclaré Bertrand Loy, directeur général d’Entegris. “Nous sommes fiers de faire partie de cette collaboration innovante pour accélérer l’adoption de la résine sèche et d’être un fournisseur de matériaux de processus de confiance pour les clients alors qu’ils poussent à créer la prochaine génération de semi-conducteurs avec cette technologie importante.”

« Notre collaboration avec Lam et Entegris pour faire progresser les résines sèches pour la lithographie EUV démontre notre engagement à soutenir les fabricants de puces alors qu’ils innovent dans la science des matériaux », a déclaré Jonathan Goff, président de Gelest, une société du groupe Mitsubishi Chemical. “Nous avons vu EUV démontrer une valeur exceptionnelle ces dernières années, et nous sommes ravis de faire partie de l’écosystème en pleine croissance pour étendre son potentiel.”

À propos de Lam Research

Lam Research Corporation est un fournisseur mondial d’équipements et de services de fabrication de plaquettes innovants pour l’industrie des semi-conducteurs. L’équipement et les services de Lam permettent aux clients de construire des appareils plus petits et plus performants. En fait, aujourd’hui, presque toutes les puces avancées sont construites avec la technologie Lam. Nous combinons une ingénierie système supérieure, un leadership technologique et une solide culture fondée sur des valeurs, avec un engagement inébranlable envers nos clients. Lam Research (Nasdaq : LRCX) est une société FORTUNE 500® dont le siège est à Fremont, Californie., avec des opérations dans le monde entier. En savoir plus sur www.lamresearch.com. (LRCX-T)

À propos d’Entegris

Entegris est le leader mondial des matériaux électroniques pour le marché des semi-conducteurs. Avec environ 8 800 employés dans ses opérations mondiales, Entegris propose l’offre de bout en bout la plus complète et la plus innovante du secteur pour les clients de semi-conducteurs, en plus de solutions pour les sciences de la vie et d’autres environnements de fabrication avancés. Les solutions d’Entegris aident les clients à améliorer leurs performances, leur productivité et leurs rendements pour activer des technologies qui transforment le monde. Elle possède des installations de fabrication, de service à la clientèle et/ou de recherche dans les États Unis, Canada, Chine, France, Allemagne, Israël, Japon, Malaisie, Singapour, Corée du Sudet Taïwan. Pour plus d’informations sur Entegris, rendez-nous visite sur www.entegris.comou suivez-nous sur LinkedIn, Twitter, Facebook et Instagram.

À propos de Gelest

Gelest est un innovateur, fabricant et fournisseur mondial basé aux États-Unis de silicones spécialisés, d’organosilanes, de composés organométalliques et de monomères d’acrylate qui dessert les marchés finaux des technologies de pointe, notamment les dispositifs médicaux, les sciences de la vie, les revêtements et les adhésifs, la microélectronique et les soins personnels. En tant que société du groupe Mitsubishi Chemical, Gelest peut tirer parti de l’expertise, du soutien à la recherche et au développement et des ressources de l’une des sociétés chimiques les plus importantes et les plus prospères au monde. Gelest aide à contribuer au succès de ses clients en développant une technologie chimique, des produits et des services de pointe pour relever les défis les plus complexes de la science des matériaux de la société.

Mise en garde concernant les déclarations prospectives
Les déclarations faites dans ce communiqué de presse qui ne sont pas des faits historiques sont des déclarations prospectives et sont soumises aux dispositions d’exonération créées par la loi Private Securities Litigation Reform Act de 1995. Ces déclarations prospectives concernent, mais ne sont pas limitées à : capacité de Lam, Entegris et Gelest à fournir des outils et des produits chimiques en quantité et qualité suffisantes et dans des délais suffisants pour répondre aux demandes des clients ; la durée, les objectifs ou les résultats obtenus par la collaboration des parties ; la performance des outils et processus de Lam et, plus précisément, la performance et les avantages obtenus grâce à l’utilisation de la technologie de réserve sèche de Lam ; l’effet de cette nouvelle technologie sur le coût et la productivité de la lithographie EUV ; la nécessité d’améliorer la productivité et la résolution de la lithographie EUV ; la quantité d’énergie ou de matière première économisée grâce à l’utilisation de la nouvelle technologie ; et les avantages des collaborations industrielles. Ces déclarations sont basées sur les attentes actuelles et sont soumises à des risques, des incertitudes et des changements d’état, d’importance, de valeur et d’effet, y compris les risques et les incertitudes qui sont décrits dans les documents déposés ou fournis par nous auprès de la Securities and Exchange Commission, y compris en particulier les facteurs de risque décrits dans le rapport annuel de Lam sur formulaire 10-K pour l’exercice clos 27 juin 2021et rapport trimestriel sur formulaire 10-Q pour le trimestre terminé 26 mars 2022 et dans le rapport annuel d’Entegris sur formulaire 10-K pour l’exercice clos 31 décembre 2022et rapport trimestriel sur formulaire 10-Q pour le trimestre terminé 2 avril 2022. Ces incertitudes et ces changements pourraient avoir une incidence importante sur les déclarations prospectives et faire en sorte que les résultats réels diffèrent sensiblement des attentes. Aucune des deux sociétés ne s’engage à mettre à jour les informations ou déclarations contenues dans ce communiqué.

SOURCE Société de recherche Lam

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